Termoemisný elektrónový rastrovací mikroskop s EDX analyzátorom

Funkcia a využitie:	Termoemisný rastrovací elektrónový mikroskop na báze volfrámovej katódy. Prístroj umožňuje prácu vo vysokom vákuu v režime sekundárnych elektrónov SE (hodnotenie topografie povrchu vzorky) a spätne odrazených elektrónov BSE (informácia o materiálových rozdieloch povrchu vzorky). Taktiež je možnosť hodnotiť topografiu povrchu vzorky aj v nízkom vákuu vďaka zabudovanému LVSTD detektoru. Okrem topografie a materiálového kontrastu je možné analyzovať aj chemické zloženie skúmanej vzorky prostredníctvom EDX detektora. Hodnotenie vzorky je realizované v piatich módoch (Resolution, Depth, Field, Wide field, Channeling mode) podľa výberu obsluhy prístroja. Software umožňuje získanie obrazu z SE a BSE detektorov individuálne alebo ich zmiešanín. Ustavenie vzorky v komore je zabezpečené prostredníctvom motorizovaného stolčeka s odčítaním polohy. Komora je vybavená kamerou na pozorovanie jej vnútra.
Technická špecifikácia:	EDX analyzátor pre kvalitatívnu a kvantitatívnu analýzu všetkých prvkov od Be po Pu. Režim vysokého aj nízkeho vákua, rozsah urýchľovacích napätí od 200 V do 30 kV. Automatické funkcie pre získanie optimálneho obrazu: plynulá zmena zväčšenia, urýchľovacieho napätia a veľkosti stopy dopadajúceho zväzku elektrónov na vzorku, ďalej zaostrovanie, korekcia astigmatizmu, jas, kontrast, rastrovacia rýchlosť. Prevedenie UniVac pre hodnotenie vzorky  v režime nízkeho vákua, bez nutnosti povlakovania a chladenia LN2. Elektrónová optika: •    Volfrámová termoemisná katóda. •    Rozlíšenie 3 nm pri 30 kV v režime vysokého vákua. •    Zorné pole 40 mm dosiahnuteľné pomocou technológie Wide Field Optics. •    Urýchľujúce napätie v rozsahu 200 V až 30 kV, nastaviteľné spojité. •    Zväzkový prúd 1 pA až 2 µA. Vákuový systém: •    Výkonná turbomolekulárna výveva bez vodného chladenia, predvákuum na báze rotačnej olejovej vývevy. •    Vysoké vákuum 9 x 10-3 Pa, nízke vákuum delené na podrozsahy: 3 až 150 Pa a 3 až 500 Pa. •    Zavzdušňovanie komory suchým plynom bez obsahu kyslíka (technický dusík). •    Držiak vzoriek - minimálny rozsah pohybu: v osi X: 35 mm, Y: 35 mm, Z: 27 mm, náklon 90°. •    Detektor sekundárnych elektrónov (SE) na báze Everhart-Thornley (YAG kryštál). •    Vysúvateľný kruhový detektor odrazených elektrónov - YAG kryštál s fotonásobičom, rozlíšenie atómového čísla 0,1. •    IČ TV kamera pre pozorovanie komory počas navádzania vzorky pod vákuom. •    Technológia SSD - termoelektrické chladenie bez nutnosti chladenia dusíkom. •    Analýza vzorky: v bode, pozdĺž čiary a na ploche, mapovanie, kvantitatívna analýza. •    Meranie rozmerov častíc, meranie uhlov, plôch, kružníc a pod. •    Nástroje na spracovanie obrazu - základné korekcie: kontrast, jas, ostrosť a pod. •    Možnosť 3D zobrazenia anaglyfického pohľadu na reálnu topografiu vzorky v reálnom čase, pozorovanie v režime SE.
Model:	Mikroskop: VEGA 3; TESCAN EDX analyzátor: x-act; Oxford Instruments
Umiestnenie prístroja:	FPT TnUAD, Púchov
Zodpovedný pracovník	Meno: Ing. Andrej Dubec, PhD. e-mail: andrej.dubec@tnuni.sk tel.č.: +421 42 2851 856
Operátori	Ing. Andrej Dubec, PhD.,  Ing. Iveta Papučová, PhD.