Termoemisný elektrónový rastrovací mikroskop s EDX analyzátorom

Funkcia a využitie:Termoemisný rastrovací elektrónový mikroskop na báze volfrámovej katódy. Prístroj umožňuje prácu vo vysokom vákuu v režime sekundárnych elektrónov SE (hodnotenie topografie povrchu vzorky) a spätne odrazených elektrónov BSE (informácia o materiálových rozdieloch povrchu vzorky). Taktiež je možnosť hodnotiť topografiu povrchu vzorky aj v nízkom vákuu vďaka zabudovanému LVSTD detektoru. Okrem topografie a materiálového kontrastu je možné analyzovať aj chemické zloženie skúmanej vzorky prostredníctvom EDX detektora. Hodnotenie vzorky je realizované v piatich módoch (Resolution, Depth, Field, Wide field, Channeling mode) podľa výberu obsluhy prístroja. Software umožňuje získanie obrazu z SE a BSE detektorov individuálne alebo ich zmiešanín. Ustavenie vzorky v komore je zabezpečené prostredníctvom motorizovaného stolčeka s odčítaním polohy. Komora je vybavená kamerou na pozorovanie jej vnútra. 
Technická špecifikácia:
  • EDX analyzátor pre kvalitatívnu a kvantitatívnu analýzu všetkých prvkov od Be po Pu.
  • Režim vysokého aj nízkeho vákua, rozsah urýchľovacích napätí od 200 V do 30kV.
  • Automatické funkcie pre získanie optimálneho obrazu: plynulá zmena zväčšenia, urýchľovacieho napätia a veľkosti stopy dopadajúceho zväzku elektrónov na vzorku, ďalej zaostrovanie, korekcia astigmatimu, jas, kontrast, rastovacia rýchlosť.
  • Prevedenie UniVac pre hodnotenie vzorky v režíme nízkeho vákua, bez nutnosti povlakovania a chladenia LN2.
Elektrónová optika:
  • Volfrámová termoemisná katóda
  • Rozlíšenie 3 nm pri 30 kV v režime vysokého vákua.
  • Zorné pole 40 mm dosiahnuteľné pomocou technológie Wide Field Optics.
  • Urýchľujúce napätie v rozsahu 200 V a 30kV, nastaviteľné spojité.
  • Zväzkový prúd 1 pA až 2µA
Vákuový systém:
  • Výkonná turbomolekulárna výveva bez vodného chladenia, predvákuum na báze rotačnej olejovej vývevy.
  • Vysoké vákuum 9 x 10-3 Pa, nízke vákuum delené na podrozsahy: 3 až 150 Pa a 3 až 500 Pa.
  • Zavzdušňovanie komory suchým plynom bez obsahu kyslíka (technický dusík)
  • Držiak vzoriek – minimálny rozsah 
Model:VEGA 3
AIS E-learning Webmail Kontakty Strava Knižnica

 

Odkazy pre rýchly prístup: